필옵틱스, `IMID 2018` 참가…3D 검사기 공개

이차전지 및 OLED 레이저 공정 장비기업 필옵틱스는 '한국디스플레이산업전(IMID) 2018'에 참가해 3D 검사기(3D Surface Inspection)를 공개했다고 26일 밝혔다.
필옵틱스의 3D 검사기는 패턴의 위상차를 이용한 측정 기술을 활용해 대면적 디스플레이와 웨이퍼(Wafer)의 균열(Crack)과 결함(Defect)을 고속으로 초정밀 검사하는 장비다. 3D 컴퓨터를 사용한 이미징 기술을 적용해 기존 검사기에서는 식별이 어려웠던 찍힘이나 표면 결함 검출이 가능한 강점이 있다.
필옵틱스 관계자는 "당사의 3D 검사기는 기존에 검출되지 않던 불량 식별이 가능하고 속도도 획기적으로 빨라져 샘플 검사뿐 아니라, 양산 프로세스의 검사에 사용될 수 있다"며 "국내외 디스플레이 회사들뿐 아니라 각종 전자 부품 제조사 등 고객사들의 미팅 예약 문의도 지속 접수 중"이라고 말했다.
회사는 신개념 3D 검사 기술을 주요 사업인 디스플레이, 이차전지 분야뿐만 아니라, 반도체 및 어드밴스드 패키지(Advanced Package) 분야의 나노(㎚)급 결함 검사 등에도 적용할 예정이다.
[디지털뉴스국 김경택 기자]