기계연구원 "반값으로 반도체 공정 온실가스 처리"

한국기계연구원의 송영훈 박사팀이 기존의 절반 이하 비용으로 반도체 공정에서 배출되는 온실가스를 99% 이상 줄일 수 있는 플라스마 공정가스 처리기술을 개발했습니다.
종전의 반도체 공정가스 처리를 위한 플라스마 기술은 설비 가격이 비싸고 유지보수 비용이 많이 들었지만, 새 기술은 플라스마 발생을 위한 장치를 단순화시켜 설비 가격을 절반 이하로 낮췄습니다.
송 박사팀은 진공 플라스마를 이용한 새 기술로 2차 오염원이 발생하지 않도록 했으며, 온실가스를 처리하는 경우에만 설비를 작동시켜 에너지 비용을 기존 소각공정의 10% 수준으로 줄였습니다.