동국대학교는 김기강 융합에너지신소재공학과 교수를 비롯한 공동연구팀이 세계 최초로 실용화 가능한 대면적 부도체 합성 기술을 개발했다고 3일 밝혔다.
기존 반도체 소자 기판으로 널리 쓰이는 이산화규소는 전자 소재와 강하게 상호작용해 소재 고유의 성능을 저하시키는 문제가 있었다. 연구팀은 이산화규소를 보론 나이트라이드로 대체하는 방법을 활용했다.
연구진은 대면적·고결정성으로 인한 기술적 한계가 있었던 기존 구리 기판을 대신해 철 기판을 사용해 두꺼우면서 면적이 넓고 결정성이 높은 보론 나이트라이드로 박막을 만드는데 성공했다.
김기강 동국대 교수는 “신기술로 보완된 보론 나이트라이드는 철 기판이 아닌 다른 기관으로 옮기는 전
이번 연구성과는 지난달 28일 ‘네이처 커뮤니케이션(Nature Communication, IF 11.470)에 게재됐다.
[매경닷컴 조성신 기자]
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